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尾气处理设备

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    Scrubber尾气处理装置半导体工艺废气处理方式依据废气处理的特性,在处理可分为四种处理方式:1水洗式(处理腐蚀性气体)2氧化式(处理燃烧性,毒性气体3吸附式(干式)(依照吸附材种类处理对应之废气4等离子燃烧式(各类型废气皆可处理)各类型之处理皆有其优缺点及其适用范围.处理方式水洗时,设备便宜处理方式简单,仅能处理水溶性气体;电热水洗式含氟废气处理——制程掺杂工艺废气尾气处理设备Scrubber,204吸附式尾气处理设备(LocalScrubber)几乎能处理所以小流量的废气,是半导体厂常用的尾气处理设备,吸附是利用多孔性固体吸附剂处理混合气体,使其中所含的一种或多种组分吸附于固体表面上,达到分离的目的。吸附剂选择性高,能分开其他过程难以分开的混合物,有效地清除(或回收)浓度很低的有害物质,净化效率高,设备简单,操作GBT29152垃圾焚烧尾气处理设备高清版可检索.pdf,6201垃圾焚烧尾气处理设备的总平面布置应符合GB50016和GB50222防火、防爆的规定。4.1.2垃圾焚烧尾气处理设备的工艺布置方案应根据安全、节能、降耗、增效的原则进行选择。垃圾焚3GB/T29152—烧尾气处理设备采用“半干法+吸附剂吸附+袋式除尘”的工艺流程。典型工艺流程参见附录A。4.1.3尾气处理系统可另设炉内脱硝或烟气脱

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